净化工程洁净室温湿度控制净化工程洁净空间的温度和湿度主要是根据工艺要求来确定的，但在满足工艺要求的条件下，也要考虑到舒适度。随着空气洁净度要求的提高，对温度和湿度的要求也有越来越严格的趋势。具体工艺对温度的要求后面会列出，但作为一般原理，由于加工精度越来越精细，所以对温度波动范围的要求越来越小。例如，在大规模集成电路生产的光刻曝光工艺中，玻璃与作为掩模材料的硅片之间的热膨胀系数差要求越来越小。
另外，当湿度过高时，粘在硅芯片表面的灰尘会被化学吸附在表面，难以清理。相对湿度越高，去除附着越困难。而当相对湿度低于30％时，由于静电力的作用，颗粒容易吸附在表面，大量半导体器件容易击穿。
净化工程压力调节
对于大多数洁净空间来说，要保持内压（静压）高于外压（静压），以防止外部污染的侵入。压差一般应按照以下原则维持:
空气从洁净室天花板上的空气过滤器输送到房间。就像空气活塞一样，气流向下流过房间，把污染物带出地面。与外部的一些新鲜空气混合后，再循环到空气过滤器。由人员和工艺产生的悬浮污染可以被这种空气立即清除，而湍流通风系统使用混合和稀释原理。在没有任何障碍物的空房间里，风速低得多的单向气流可以迅速清除污染物。但在手术室里，机器和在机器周围走动的人会对气流造成障碍。
要严格的控制好焊接切割等灰尘工作，避免一些垃圾的散开，每天工作结束之后都要把这个垃圾从房间里面拿出来，倒进一些的地方。建筑材料的整齐的堆放在一块，不能在室内小便违反规定的人是不是可以在这个车间工作？根据净化工程的需求以及GMP的要求设计和安装，都应该避免一些难以清洁的地方。
净化工程所有的附件天花板固定悬挂部件，人物和主体结构相连接。选择气密性较好，温度和湿度变化都很小的材料就行。墙壁和天花板的表面应该光滑平整，没有灰尘抗腐蚀性，那么在临界处应该创建一个半径为50mm的圆角，墙壁的颜色要和谐优雅一点，更加容易识别。已经完成的净化工程，不要因为碰撞或拍打导致凹陷的情况。
以上信息由专业从事高效送风口规格的雨诺净化于2024/4/26 10:39:30发布
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