厦门太星机电有限公司拥有十多年真空行业经验和销售及维修工程师团队组成，公司提供国外及国内厂家生产的真空泵，检漏仪，分子泵，扩散泵，水环真空泵，螺杆真空泵，罗茨泵，真空测量，真空泵油及其备品备件。
扩散泵是真空镀膜机的主要部件，为保证真空镀膜机的正常稳定运行，平时对真空镀膜机扩散泵的维护和保养就显得尤为重要。今天成越科仪就给大家分享一下真空镀膜机扩散泵维修与保养知识。
扩散泵工作过程中冷却水必须保证畅通，停止加热后必须保证泵工作液已完全冷却后方可关闭冷却水。
扩散泵停止工作时，泵内应保持真空状态，以免泵油劣化。
被抽气体应是干燥、无腐蚀、无灰尘的气体。
扩散泵如暂时不用，保管期间应该保持真空状态，以免泵油污染和各零件腐蚀并将冷却水套入的剩水吹净。保持场地的室温应在10-40摄氏度之间。
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锅炉内泵油的不稳定沸腾，会使喷出的蒸汽射流的密度波动，从而引起抽速和轻气体压缩比的变化。锅炉可能一时过热，使之有一段爆沸的时间，其补救的办法是在现代的油扩散泵中采用有翼片的锅炉，增加内表面积，降低热流密度，增加功率能使爆沸减低到小或消除。在真空中，强力的爆沸，会引起自爆升腾，对喷咀，引起瞬间堵塞，造成汽流波动。泵内加防爆板可以防止爆沸的影响，因对轻气体压缩比低，可引起压力的不稳定，增加功率和泵的级数是有利的。在扩散泵中设置侧面出口喷射喷咀和扩压器，可使扩散泵这种不稳定性减至小。顶喷咀帽过冷也会引起蒸汽流不连续，导致压力的不稳定。设法保持顶喷咀的温度不降，不使其过冷。来自橡胶密封的气泡，有时油捕集气体，通过密封胶圈渗透放出，因气泡有一定压力使油膜后进入系统中。密封槽内集存的泵油应能排出，可使不稳定减少，若用金属垫圈就更好了。设计良好的冷帽能防止油滴落到顶喷咀的热表面上蒸发。在用碳氢化合物泵油时，操作不当，扩散泵系统有发生的危险。大多数情况下规管的灯丝就是点火源。泵的日常操作要规范，定期检查泵油的质和量。
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（1）目前国内生扩散泵的厂家较多，型号、尺寸不统一，大泵越作越大，小泵则很少生产。况且对泵的性能也没有考核指标。行业应对提和质量进行定期检查、组织生产厂家多做改进工作，使用户配套方便。（2）泵在结构方面：要缩小尺寸、降低重量，保证零件的加工精度，可增加级数，提高在4×10-1Pa时的抽气量。给出对几种常用的被抽气体的抽气量。（3）增加附件。如设置挡油帽，过热保护装置（对冷却水水温、水压和泵油温度的在线测和自动保护。可自动切断和复位）。出口压力的监控。（4）规定油量的大值和小值和耗油量（如0.5~0.7 g/h等）。要观察油位，以方便用户及时注油。从观察窗看泵油变质情况以便及时更换。（5）给出合适的前级泵的容量。（6）为了节能加热功率要可调，要快速起动和快速冷却停泵，提高设备的运转率。（7）给出各种被抽气体的性能曲线，好给出对一些气体的压缩比（方便用户选用。（8）用微机控制运行和故障诊断。（9）密封处要选高质量的放气率和透气率小的橡胶圈。（10）给出各种泵的返油率限定值，进一步降低返油率，扩大油扩散泵的用途。油扩散泵的工作压力范围宽（1~10-5Pa以下），它比其它高真空泵的可靠性高，成本低，只有少数部件需要维修，泵内无运动部件，工作中可更换加热器。硅油或聚苯醚的蒸汽压为10-9~10-10Torr，使用合适的挡板或阱在室温状态下可获得10-10Torr或更低的压力。
以上信息由专业从事涡轮真空检漏的厦门太星机电于2024/4/27 8:56:48发布
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